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產品性能：

*垂直結構，5～50片/批

*穩定優良的成膜均勻性，重復性好

*微環境低氧控制先進技術

*硅片顆粒度控制穩定，國際標準

*多工藝選擇，模塊化，操作便利

*全自動流程，盒對盒，AGV對接

*高集成度，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準

配套工藝：

*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL），氮、氫退火，合金、固化，快速熱退火

*多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2，磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS，LTO，HTO，SIPOS...