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用途：

CVD氣相沉積爐用于燒結碳碳及碳陶復合材料產品.

主要配置：

1.臥式爐體，雙層爐體結構，水冷夾套設計。

2.爐膛內由發熱元件，保溫層，測溫熱電偶，監測熱電偶組成

3.發熱元件沿爐膛內壁均勻布置，有利于加熱，溫度均勻性好

4.PLC加觸摸屏/工控機操作方式，有報警功能，自動化程序高,安全可靠

技術特征：

1.采用進的控制技術，能精確控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；

2. 采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 

3. 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

4. 對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理；

5. 采用全新設計防腐蝕真空機組，持續工作時間長，維修率極低。

 產品規格：