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等離子技術，是利用高壓的電場，使空氣中的O2電離產生O3，其臭氧產生效率要比紫外燈管高很多。但等離子管幾乎不發射出紫外線。缺少了紫外線的催化作用，在單純采用等離子工藝的廢氣處理裝置中，臭氧與有機廢氣的反應變得緩慢困難，同樣制約了設備的處理效能。