同步輻射CF150、CF200方形超高真空腔室

Htc日揚真空擁有專業UHV真空技術提供同步輻射真空腔室設計制造, 依客戶需求特制提供各式超高真空系統設計、建造、量測技術服務。

材質：S.S.304

表面處理：電解拋光

規格：CF150、CF200方形超高真空(UHV)腔室

泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec

工作壓力<7.5 x10-10 torr

RGA總壓<1 x10-9 torr時， 45amu以上物質總分壓<0.1%