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電子級單晶金剛石襯底

電子級單晶金剛石襯底

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西安德盟特半導體科技有限公司

陜西

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面議

品牌:

德盟特

型號:

電子級單晶金剛石襯底

關注度:

311

產品介紹

常規產品
晶面:{100}
尺寸(長寬):1mm×1mm-20mm×20mm
厚度:0.2mm-3mm
橫向公差:±0.05mm
表面粗糙度:普通(Ra≤5nm);精拋(Ra≤1nm)
雜質濃度:N≤5ppm;B & Si小于SIMS檢測下限
XRD FWHM:100arcsec;60arcsec;40arcsec(可選)
XRD offset:<3°
位錯密度:<10^5/cm
熱導率:>2000 W/m·K
常規參數
拼接方式:4個10mm×10mm電子級單晶金剛石襯底拼接
晶面:{100}
尺寸(長寬):1mm×1mm-20mm×20mm
厚度:0.5mm-2mm
橫向公差:±0.05mm
激光切面角度:<0.5°
表面粗糙度:普通(Ra ≤5nm);精拋(Ra ≤1nm)
常規參數
氫終端單晶金剛石外延尺寸:1mm×1mm-20mm×20mm
表面粗糙度:Ra<2nm
氧終端單晶金剛石外延尺寸:1mm×1mm-20mm×20mm
表面粗糙度:Ra<1nm
B摻雜單晶金剛石外延B濃度:2X10^16-1X10^17/cm3
薄膜厚度:可商議
遷移率:>1500 cm2/V·s
常見產品型號尺寸主要參數
DD3353mm×3mm×0.5mmXRD offset 1°、電子級
DD10105PPV10mm×10mm×0.5mm雙面精拋、電子級
DD20205P20mm×20mm×0.5mm單面精拋、電子級
DD40401P40mm×40mm×1mm常規單面拋光、電子級


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