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1. 應用領域

本產品主要用于碳化硅晶片等的精磨拋光。

2. 產品特點

(1)產品搭配專門的碳化硅精磨墊使用達到高去除率，提升效率；

(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面質量高（粗糙度，劃傷，亞表面損傷層等參數）；

(3)水溶性載體配方，具有較好清洗性能；

(4)產品的懸浮穩定性好；

(5)產品相較于常規的水基配方，潤滑性能更優。