KASHIYAMA工業株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有極高的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

規格。/產品	MU100X	MU180X	MU300X	MU600X	MU1218X	MU20N18X
*值抽速 [升/分鐘]1	1,660	3,000	5,000	10,000	20,000	30,000
極限壓強 [啪]*1	1.5		0.5
電源電壓 (50/60赫茲)	三相交流200至220伏*2
功率消耗 [千瓦]*3	0.35	0.5	0.55	0.6	0.9	1.0
尺寸[毫米]長×寬×高*4	450×230×275	550×280×299	450×230×520	530×230×520	870×380×751	1000×450×950
質量[千克]	60	95	100	120	270	410

*1)不帶N2清洗。*2)如需其他電壓選項，請聯系我們。*3)大約。極限壓力下的值。*4)包裝尺寸。
*聯系我們了解國際標準合規性。規格。產品名稱如有變更，恕不另行通知。
*關于大容量泵，請聯系我們。

S-P Curve

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KASHIYAMA工業株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有極高的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

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