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干式真空機組是由爪型干式真空泵和羅茨真空泵串聯而成，結合了兩種泵的優點，結構緊湊，運行可靠。 在爪泵抽到0.09MPa以下，再啟動羅茨真空泵，羅茨真空泵在此壓力范圍內可發揮較大抽速能力，并可提高壓力 .
　　干式真空機組用于：真空蒸餾、分子蒸餾、真空干燥等抽富含酒精、汽油、水蒸汽、毒氣、腐蝕性氣體等特殊工作環境。
　　真空機組安裝調試的注意事項：
　　（1）正確使用真空機組，熟練地掌握真空機組操作規程；
　　（2）正確使用真空計，掌握其操作規程，若用熱偶真空計，注意熱偶不要燒壞；若用麥氏真空計，注意水銀液面緩緩上升；
　　（3）運行時，禁止修理、清洗真空機組，以及給運動部件上螺釘；
　　（4）真空泵啟動前，需檢查供水、供油、潤滑是否正常；
　　（5）運動部件要有防護措施，以防其飛出來；
　　（6）車間應配有滅火器、砂箱等滅火器具。
　　干式真空機組工作原理：
　　當電機開始工作時，電機通過電機齒輪傳遞給介輪，再由介輪傳遞給主動齒輪帶動同步從動齒輪做同步反方向運轉，主動軸、從動軸便帶動一 級轉子、二級轉子、三級轉子、四級轉子進行連續吸排氣做功，被抽氣體通過進氣口，進入進氣口通道，在一 級轉子對的壓縮下，一 級泵腔內的氣體通過一 級排氣道，進入二 級泵腔，二、三、四級泵腔內的氣體做同樣的運動，經四級排氣道進入冷凝緩沖區，液體流向排液道，通過液體收集口可直接回收，殘存氣體通過消聲器，排氣口排出泵外，從而起到抽真空以及氣液分離的作用。