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干式真空泵
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干式真空泵
干式真空泵
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干式真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
干式真空泵應(yīng)用范圍
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
干式真空泵組裝注意事項(xiàng)
1.在干式真空泵軸即轉(zhuǎn)子軸設(shè)備之前,有必要來(lái)確定它是否彎曲或者是變形的;
2.轉(zhuǎn)子平衡狀況是不是符合標(biāo)準(zhǔn)的;
3.葉片和轉(zhuǎn)子之間的合作開(kāi)放空間;
4.是否需要多次密封緩沖補(bǔ)償裝置的緊固量;
5.干式真空泵泵轉(zhuǎn)子與軸承位置的同心度是否滿足要求;
6.調(diào)整軸承和端蓋之間的開(kāi)放空間;
7.調(diào)整密封部分的開(kāi)放空間;
8.聯(lián)軸器的同軸度是否符合要求。