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化學機械拋光機 TMP-200S

化學機械拋光機 TMP-200S

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北京特思迪半導體設備有限公司

北京

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品牌:

北京特思迪

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化學機械拋光機 TMP-200S

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295

產品介紹

化學機械拋光機

TMP-200S/300S

該系列設備是適用于薄膜(介質層)的CMP拋光設備,包括氧化物、金屬、STI、SOI、MEMS等產品的平坦化拋光。采用多分區氣囊加壓方式,可實現納米級精密去除,配置半自動上下片系統,可根據需求選配摩擦力、電渦流、在線紅外檢測等EPD功能。


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化學機械拋光機 TMP-200S

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